維薩拉薄膜聚合物傳感器能對水氣做出響應，而水氣在高于和低于水沸點的溫度條件下都會存在。但是，在高于沸點的任何溫度下，可能達到的最大相對濕度值會受到物理限制。這可以使用以下濕度理論來解釋：
相對濕度的定義是：RH=Pw/Pws*100%，其中Pw表示水汽壓，Pws表示隨溫度而變的水蒸氣飽和壓力。Pws可從文獻中檢索，最高臨界溫度為373.98°C。蒸氣壓力Pw與溫度無關，只要Pw已知，就能確定高至臨界溫度范圍內的相對濕度。
在高于沸點的溫度條件下，實際的相對濕度值(%RH)會受到限制，因為水汽壓不會高于總壓力。這意味著在高于水沸點的條件下，未加壓系統中的最大相對濕度始終低于100%RH，如圖所示。
例如，在120℃的溫度條件下，最大相對濕度是51%RH。在已知飽和壓力Pws近似1.987 bar的條件下，可以計算出該值。在正常大氣壓1.01325 bar的條件下，可能達到的最高Pw也是1.01325 bar。由此換算出的相對濕度是51%RH，如表1所示。
其他濕度參數，例如露點溫度，在未加壓系統中也會受到限制。例如，最大露點與沸點相同，通常是100°C。
維薩拉HUMICAP®傳感器已經過驗證，可在溫度高達180℃的未加壓和加壓條件下進行濕度測量。
